光学轮廓Profilm3D

光学轮廓Profilm3D

1、采平整样品表面粗糙度：通过探针扫描（记录探针垂直位移）或光学干涉（分析干涉条纹）获取 1mm×1mm 区域。
2、样品厚度：基于台阶测量（扫描台阶两侧高度差并结合已知台阶高度）或利用光在介质界面反射和折射特性测量光程差来确定厚度。

3、沟壑或凸起的体积：先扫描获取样品表面三维形貌数据，再识别形状边界，用积分方法（规则形状用几何公式，不规则形状用数值积分）计算体积。