纳米压痕测试仪（UNHT³）

1、涂层硬度：借超精密载荷系统，用压头施压，产生纳米级压痕，依公式算出硬度值，衡量涂层抵抗局部变形能力。2、杨氏模量：在加载、卸载时，精准捕捉位移、载荷数据，代入力学模型算出，量化材料弹性刚度。3、蠕变行为：施加恒定力，监测压痕深度变化，分析深度 - 时间曲线，掌握材料缓慢塑性变形特性。

白光干涉 3D 轮廓仪

1、采平整样品表面粗糙度：通过探针扫描（记录探针垂直位移）或光学干涉（分析干涉条纹）获取 1mm×1mm 区域内的微观形貌数据。2、样品厚度：基于台阶测量（扫描台阶两侧高度差并结合已知台阶高度）或利用光在介质界面反射和折射特性测量光程差来确定厚度。3、沟壑或凸起的体积：先扫描获取样品表面三维形貌数据，再识别形状边界，用积分方法（规则形状用几何公式，不规则形状用数值积分）计算体积。

inVia™共焦显微拉曼光谱仪

1、成分分析与鉴定:通过检测拉曼散射光的频率和强度确定化学成分，不同物质分子有特定拉曼散射光。2、进行拉曼光谱分析，了解微观结构变化等。3、学成像与分布研究:采用扫描成像技术，将逐点扫描获取的拉曼光谱数据转化为化学图像显示成分分布。

原子力显微镜 MFP-3D Origin+

1、高分辨率成像:在气相和液相中都能进行高质量成像，XY 扫描范围为 120μm，Z 扫描范围为 15μm。2、纳米力学表征:可以测量样品的粘弹性特性（储能模量和损耗模量）及模量等。3、纳米刻蚀和操纵:通过 MicroAngelo 软件，可以实现纳米级别的刻蚀和操纵